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合fei,华光光刻精密设备公司国家重大技术装备验收组一行首长看得很认真,只见yan前的工作台上放着一台全新的光刻机,长宽大约一米左右,gao约15米,设备结构与之前的银汞灯紫外线光刻机有着明显的区别,设备看上去更加复杂了。
一旁的学bu委员,光刻机研究项目总负责人唐九华,正在作着介绍:“各位领导,这台新型66式光刻机采用了新型g线gao压银汞灯紫外线蓝光技术,波长为436纳米,它改jin了过去的多制程曝光光刻工艺的缺dian,采用了全新的扫描式光刻工艺,最gao可实现1微米光刻。
四机bu王争bu长仔细的观察着光刻机,问dao:“它的稳定制程能达到多少?≈ot;&039;gen据我们的实验测算,1微米制程合格率为3微米稳定制程合格率达到了65,5微米为38,78,10微米能达到917。“唐九华问dao。
“也就是说10微米制程shui平与此前的gao功率银汞灯光刻机shui平差不多。
“是的,但是两者的生产效率不一样,这台新式光刻机效率可提gao35左右。≈ot;唐九华继续说dao:“更重要的是,它的线宽能zuo到更小,且能够集成更多的晶tiguan。”
说完,他拿起一块芯片展示了起来:“这块芯片上集成了2400个晶tiguan,这不是它的极限,我们至少在它上面还能再加上七到八百个晶tiguan。
验收组组长郭副总理问dao:“集成晶tiguan的多少会有哪些区别?”唐九华回dao:“意味着芯片上的电路能实现更多的功能,而这也是我们接xia来要zuo的工作。≈ot;说完便看向了方叶。
只见方叶微笑着dian了diantou,他向二位领导汇报dao:“有了这台光刻机,我们就可以制造全新的ic芯片了,准确的说,是中央处理qi,并且可以批量制造,这是上一代光刻机不ju备的。≈ot;以。
&039;中央处理qi?≈ot;王争和郭副总理几人皆不明所方叶解释dao:“这是一种可编程的ic芯片,将会将解现有芯片只能使用单独功能的问题,比如采用了这种?叫央处理qi的芯片,它可以gen据需要编辑电路控制功能,实现逻辑电路控制,≈ot;它的应用将会彻底的颠覆现有的电zi控制技术。
王争bu长思索了一会,dian起tou来,他基本明自了这个中央处理qi的原理。
不过郭副总理依旧没能听懂,王争bu长见他似乎有些懵,于是便打了个比喻,笑dao:“郭副总理,这就好比家里的风扇,一档到三档,需要不同的档位,现在有了中央处理qi,一个an键就可以同时实现多个档位切换,其电路控制由中央处理qineibu电路集成了起来。
明自了,郭副总理diantoudao:“这么说来,以后的电路板上电zi零件会越来越少,电路板也会zuo得更小。
王争bu长笑dao:≈ot;您说的没错,基本是这个思路,以后的集成电路集成度会越来越gao,可实现丰富多样的功能。
王bu长到来之前,上级专家们的验收工作就已经jinru了尾声,因此一场验收评审会议就在工厂里召开了起来,经过经专家们的一致评议,同意认定:&039;66式&039;光刻机ju有原创xing的国家重大半导ti制造设备领域的世界领先装备。
所有人都是激动的,包括方叶再nei,但他还是在会上提了一个要求:这款装备需要严格保密,所有信息五年nei禁止对外公开。
会上方叶说dao:“这款设备未来五年nei,将优先投ru国防军用半导ti技术应用领域,包括国家巨型先jin计算机、导弹芯片、航天芯片、战机航电系统、电台、通信技术等国防军用电zi芯片制造,所以包括设备及后续芯片再nei,务必严格保密,任何人在任何时候都不能对外透lou哪怕一个字!≈ot;王争bu长自然知dao厉害,他脸上的笑容也收了起来,严肃的说dao:“所有参加验收和研究的人员都需要接受国家保密培训,签订国家保密协议,国
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